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德力測控的OptoSurf散射光技術產(chǎn)品，依托創(chuàng)新技術體系，能夠100%實現(xiàn)納米級表面粗糙度的全檢分析。該技術不僅可以對高精度加工表面進行檢測，還具備評估產(chǎn)品表面摩擦特性的功能，為精密制造領域提供了可靠的表面質(zhì)量檢測解決方案。

德力測控的散射光技術產(chǎn)品廣泛應用于汽車工業(yè)、機械工程、航空航天工業(yè)、醫(yī)療技術和半導體等行業(yè)。

散射光測量技術原理

散射光測量系統(tǒng)采用大孔徑物鏡配合具有離散數(shù)量的光電二極管的線形探測器，記錄定義角度范圍內(nèi)的散射角分布。并統(tǒng)計由散射角分布形成的特征值（AQ和ASK），該方式優(yōu)點是對距離變化不敏感（平面可達 2 mm）、測量速度快（每秒> 1000 次測量）、在生產(chǎn)中使用時堅固耐用，并且可以透過均勻的油膜進行測量。

測量原理示意圖

散射光測量技術介紹

散射光技術的優(yōu)勢

• 非接觸式測量

• 納米級高精度

• 對振動不敏感，可實現(xiàn)在線集成檢測

• 超快速測量（56m/s )，實現(xiàn)超大范圍全掃

測量參數(shù)

•圓度（RONt）

• 波紋度 (Wt,WDt)

• 快速傅里葉變換分析 (FFT)

• 粗糙度 Aq

解決的痛點

• 振紋

• 噪聲

• 摩擦性能

• 光學效果：光澤度、反射、陰影等

應用案例

案例1：電動助力轉向系統(tǒng)（EPS）中的滾珠絲杠全程粗糙度，圓度和FFT分析

案例2：在線檢測高精度軸承表面的粗糙度，圓度和波紋度

案例３：在線集成測量超大型軸承表面的粗糙度，圓度和波紋度